EUV光源の記事一覧
ギガフォトン、半導体露光技術最大の学会「SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023」にて論文発表
2023年02月17日 08:20:46
ギガフォトン、EUVパイロット光源にて集光ミラー反射率低下量-0.4% /Bplsを達成
2017年09月11日 22:00:00
ギガフォトン、EUVパイロット光源にて稼働率80%以上のポテンシャルを確認
2017年07月05日 22:00:00
ギガフォトン、EUVパイロット光源で特許技術「磁場デブリミチゲーション」による集光ミラー長寿命化に成功
2017年02月24日 01:00:00
ギガフォトンEUV光源、発光効率4.0%で250W出力を達成
2016年07月06日 10:00:00
ギガフォトン、EUV光源で出力108W、24時間の安定発光に成功
2015年12月14日 12:00:00
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