非接触SiCプラズマ前処理技術: オックスフォード・インストゥルメンツ社がClas-SiC社と共同でパワーデバイスの検証を実施
- 2022年09月26日 09:00:00
- マネー
- Dream News
Clas-SiC Wafer Fab Ltd. のテクノロジー・カスタマーリレーションズ・マネージャーのDavid Clark氏は次のように述べています。「プロジェクトを経て、1200V MOSFETのパラメトリックと歩留まりが従来のCMPウェハと酷似している結論に至りました。我々は基板の供給量制限で複数のサプライチェーンに依存する環境下にあり、材料の入荷変動はデバイス製造業界全体の課題です。調達した基板を当社で処理し、2種のデバイス製造工程に組み込み、これほど早く同等の成果を得ることができました。また、これは当社のプロセスウィンドウの持続可能性と喫緊の課題に沿っていることへの確固たる自信に繋がりました。
初期の結果として非常に有効であると捉え、本新技術が高価なSiC基板コストを削減できる将来性を確信しています。実質的にSiCベースの電力変換コスト削減にも繋がり、市場での採用を拡大する上で非常に重要です。」
【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000266245&id=bodyimage1】
【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000266245&id=bodyimage2】
現在、SiC基板需要が供給を上回り、それに伴い基板上で製造されるワイドバンドギャップ半導体も供給不足となっています。成長著しい電気自動車や持続可能エネルギー市場では、化合物半導体の導入量が増加しています。この産出量ギャップの急激な増加に新たなソリューションが必要とされています。当社のプラズマ研磨ドライエッチング技術は、従来のCMPに代わるプラグ・アンド・プレイ方式でOPEX の削減に繋がり、ウェハ1枚当たりのコスト低減だけではなく、150mm、および200mmのインゴッド当たりのウェハ切断量を向上させる重要な技術です。当該技術、そしてその他の革新的なSiC技術は生産パラダイムを転換させ、SiCサプライチェーンがこの急成長市場を安定で持続可能なものへと変わる可能性を持っています。
Oxford Instruments plc. Plasma Technology は2022年9月11日から16日にダボス(スイス)で開催される国際会議ICSCRM/ECSCRMで、PPDFプロセスを公式に発表いたします。会議のテクニカル折衝では、商業向けファウンドリパートナーが製造してウェハから、特許取得のPPDFプロセスを活用した最新のエピタキシャルウェハ、デバイスの事例を発表いたします。また、工場へのPPDE導入も会場でご相談も承っております。
本プレスリリースは、イギリス時間9月7日に発表した『Contactless SiC Plasma Epi-prep: Oxford Instruments Validates Power Devices with Technology Acceleration Partner Clas-SiC』の抄訳です。
配信元企業:オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
プレスリリース詳細へ
ドリームニューストップへ
ドジャース山本由伸2回28球で降板 アクシデントか?
転売ヤーが湧く「未来のレモンサワー」が品薄で手に入らない!なんとか見つけたコンビニは……
「タイタニック」英女優がディカプリオとの「船首キスシーン」振り返る
礼儀正しい「ご飯待ちトリオ」の猫 完璧なフォーメーションに「芸術的」の声
在日コリアン芸人・マルセ太郎 没後23年、4世がたどったルーツ
米超大物夫妻が狭いエコノミー席で来日 乗り合わせた乗客のSNS投稿に世間も驚き
【森林環境税】を解説 今年度より創設され年額1000円 お得な納付方法も紹介
7勝目挙げた今永昇太が爆笑会見 ド派手ガッツポーズの心境は「もうおなかが減っていた」
節税目的の相続税対策を実施する前に知っておくべき基礎知識 節税効果の低いものやトラブルでかえって損になることも
今永昇太、本拠地ロッカーの新ネームプレート「マイク・イマナガ2世」が話題 命名の理由とは?
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
三上悠亜、整形したことを事後報告でネット騒然「素っぴんが美しすぎる」「大半を既にいじっておいて今更」
柏原崇(45)現在を調べてみた結果、相変わらずかっこよすぎた!
「愛が生まれた日」藤谷美和子(56)の現在がヤバい!?徘徊生活を送っていた過去も明らかに。
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
オードリー若林結婚で嫁の名前がソッコーで特定する動き始まる
矢口真里、中学時代の写真公開「やっぱアイドルな人は、違うわ」ネット騒然
【ネタバレ?】史実で見るキングダムの今後の展開まとめ〜中華統一までの全体像
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
柏原崇(45)現在を調べてみた結果、相変わらずかっこよすぎた!
三上悠亜、整形したことを事後報告でネット騒然「素っぴんが美しすぎる」「大半を既にいじっておいて今更」
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
YouTuberジュキヤの動画企画が大炎上「普通に痴漢」「気持ち悪すぎ」
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
「愛が生まれた日」藤谷美和子(56)の現在がヤバい!?徘徊生活を送っていた過去も明らかに。
オードリー若林結婚で嫁の名前がソッコーで特定する動き始まる
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
ドジャース山本由伸2回28球で降板 アクシデントか?
転売ヤーが湧く「未来のレモンサワー」が品薄で手に入らない!なんとか見つけたコンビニは……
「タイタニック」英女優がディカプリオとの「船首キスシーン」振り返る
在日コリアン芸人・マルセ太郎 没後23年、4世がたどったルーツ
礼儀正しい「ご飯待ちトリオ」の猫 完璧なフォーメーションに「芸術的」の声
米超大物夫妻が狭いエコノミー席で来日 乗り合わせた乗客のSNS投稿に世間も驚き
【森林環境税】を解説 今年度より創設され年額1000円 お得な納付方法も紹介
7勝目挙げた今永昇太が爆笑会見 ド派手ガッツポーズの心境は「もうおなかが減っていた」
節税目的の相続税対策を実施する前に知っておくべき基礎知識 節税効果の低いものやトラブルでかえって損になることも
今永昇太、本拠地ロッカーの新ネームプレート「マイク・イマナガ2世」が話題 命名の理由とは?