フェローテク Research Memo(3):事業内容は多岐にわたる。主力は半導体等装置関連事業(1)
1. 事業セグメント
フェローテックホールディングス<6890>は多くの製品を自社開発・製造すると同時にM&Aによって多くの企業を子会社化してきたことから、事業内容は多岐にわたっている。現在の事業セグメントは半導体等装置関連(2023年3月期売上高比率62.7%)、電子デバイス(同25.2%)、その他(同12.1%)に分かれる。
2. 半導体等装置関連
このセグメントは、さらに真空シール・金属加工、石英製品、シリコンパーツ、セラミックス、CVD-SiC、EBガン・LED蒸着装置、ウエーハ加工、再生ウエーハ、装置部品洗浄、石英坩堝のサブセグメントに分かれる。
(1) 真空シール・金属加工(2023年3月期対総売上高比率13.3%)
磁性流体を利用して、真空雰囲気内への回転導入機としての役割を担う部品で、半導体・FPD・LED・太陽電池等の製造工程で利用されている。同社の核となる製品で、主に半導体ウエーハのエッチングや成膜工程、FPDのパネル搬送用ロボットの回転機構部などに導入され、密閉空間を外部から隔離しつつ加工に必要な動力を正確に伝えることを可能にしている。
(2) 石英製品(同13.7%)、シリコンパーツ(同8.3%)
石英製品は熱と化学変化に強い超高純度のシリカガラスからなり、ウエーハの成膜生成や拡散プロセスなどで使われるほか、搬送や洗浄工程で治具、消耗品として使われており、微細化・高純度化が進む半導体製造プロセスのなかで重要な役割を担っている。シリコンパーツ(ポート、インジェクター、フォーカスリング等)は、加工して主に半導体製造工程等で使われる。
(3) セラミックス(同12.9%)
同社が持つ素材技術、生産技術、精密加工技術を生かして様々なセラミックス製品を提供している。セラミックス製品は高強度・高純度・高耐熱性に優れたファインセラミックス(FC)製品と高度な機械加工が可能なマシナブルセラミックス(MC)製品に分けられる。前者は主に半導体製造装置用の部品として使われているが、特にドライエッチング方式(プラズマエッチャー)では不可欠な部品となっている。後者は様々な加工を施すことで各種部品や治具として利用されるが、特に半導体の検査工程での治具(ウエーハプロバー用)として需要が高まっている。また近年では、その精密加工特性を生かして高度な医療用機器での利用も進んでいる。
(4) CVD-SiC(同2.3%)
独自のCVD方式による炭化ケイ素(SiC)製品で、超高純度・高耐熱性・高対摩耗性・耐腐食性といった特性を備えている。半導体製造工程で用いられるウエーハボートやチューブ、シリコンウエーハの代替となるダミーウエーハなど、主に高温で使用される治具として幅広く活用されている。
(5) EBガン・LED蒸着装置(同3.8%)
EB(Electron Beam)ガンとは電子銃のことで、高機能なEBガンと高圧電源を心臓部とした米国製Temescal装置(精密蒸着装置)によって基盤などに薄膜を形成する。同社は大学や研究所向けの小規模生産用タイプから、大規模生産用高スループットタイプまで幅広い製品群を揃えている。次世代通信などで利用が見込まれる化合物半導体での世界標準機として数多くの顧客に使用されており、現在ではLEDや通信チッププロセス等の導入が進んでいる。
(6) ウエーハ加工+再生ウエーハ(同0.8%)
ウエーハ加工はシリコンウエーハ(集績回路の基盤材料)の製造である。また2022年3月期より、中国半導体国産化の加速による需要の急増を受けて、新たに再生ウエーハ事業を立ち上げた。再生ウエーハとは、設備の確認やテストで使用したダミーウエーハを研磨加工することで繰り返し使えるようにしたウエーハのことである。半導体の生産が高まると、それに伴い再生ウエーハの需要も高まる。
(7) 装置部品洗浄(同5.8%)
半導体製造装置用部品の洗浄作業を行う。
(8) 石英坩堝(同1.8%)
同社の石英坩堝は、半導体製造工程に不可欠な石英製品と同等の高純度の原料を使用し、単結晶シリコンの原料を充填する容器として使用されている。半導体用、太陽電池用などの単結晶シリコンを製造するメーカーが主な顧客である。今後は、太陽光発電向け大口径シリコン製造用の比率を高めることで売上高を伸ばす方針である。
(執筆:フィスコ客員アナリスト 寺島 昇)
<SI>
大谷翔平、日本選手初4戦連続本塁打に挑戦 ホワイトソックスとは35戦16本塁打と好相性
保田圭、美容院帰りの近影に「また綺麗になった」「今すぐまたアイドルになってください」と反響
フジ西山喜久恵アナが昇進、統括チーフからゼネラルアナウンサーに
小雪(42)の現在がヤバい!?松山ケンイチも衝撃!新興宗教に惑わされていると話題に。
堂本光一が「フェラーリ」“宣伝コメンダトーレ“就任、愛がさくれつ「お前らには分からん!」
マクドナルド、魔女のお届けもの「ヨーロッパバーガーズ」3商品が登場 発表会では長濱ねるキキと槙野智章ジジが「お届け」披露
相川七瀬、女子会2ショットに「まぜるな危険、アク強すぎ」「青春時代にききまくったおふたり」
略奪や放火…強まるロヒンギャ迫害 ミャンマー戦闘のあおり受け
マツコ「住みたい街」ランキングにツッコミ「毎年無理がある、ごちゃ混ぜになってる」私見披露
A.B.C-Z橋本良亮が体調不良で一時活動休止発表
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
都知事選掲示板にヌードポスター ひろゆき氏「世も末」 SNSで批判噴出
イケメンだから許される!堀北真希と山本耕史の「馴れ初め」が映画化希望するレベル
「ひまそらあかね」が突如トレンド入り!都知事選に出馬した暇空茜って一体どんな人?本物なの?
都知事選のほぼ全裸ポスター、イメージガールが謝罪 自身が携わる商品PR活動を辞退を発表
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
有権者「ばかにしている」 都知事選の掲示板に大量の同じポスター
バキ童こと春とヒコーキのぐんぴぃが有吉の壁に登場!「笑いが止まらん」「地上波ゴールデンは草」
NHK党・立花氏「大成功だ」 都知事選の大量同一ポスター問題
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
都知事選掲示板にヌードポスター ひろゆき氏「世も末」 SNSで批判噴出
イケメンだから許される!堀北真希と山本耕史の「馴れ初め」が映画化希望するレベル
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
柏原崇(45)現在を調べてみた結果、相変わらずかっこよすぎた!
「愛が生まれた日」藤谷美和子(56)の現在がヤバい!?徘徊生活を送っていた過去も明らかに。
松本人志飲み会参加セクシー女優「警察に相談しに行きました」報告「さすがにこれは酷すぎる」
「ひまそらあかね」が突如トレンド入り!都知事選に出馬した暇空茜って一体どんな人?本物なの?
大谷翔平、日本選手初4戦連続本塁打に挑戦 ホワイトソックスとは35戦16本塁打と好相性
保田圭、美容院帰りの近影に「また綺麗になった」「今すぐまたアイドルになってください」と反響
フジ西山喜久恵アナが昇進、統括チーフからゼネラルアナウンサーに
堂本光一が「フェラーリ」“宣伝コメンダトーレ“就任、愛がさくれつ「お前らには分からん!」
小雪(42)の現在がヤバい!?松山ケンイチも衝撃!新興宗教に惑わされていると話題に。
マクドナルド、魔女のお届けもの「ヨーロッパバーガーズ」3商品が登場 発表会では長濱ねるキキと槙野智章ジジが「お届け」披露
相川七瀬、女子会2ショットに「まぜるな危険、アク強すぎ」「青春時代にききまくったおふたり」
略奪や放火…強まるロヒンギャ迫害 ミャンマー戦闘のあおり受け
マツコ「住みたい街」ランキングにツッコミ「毎年無理がある、ごちゃ混ぜになってる」私見披露
A.B.C-Z橋本良亮が体調不良で一時活動休止発表