CMP関連技術、特許総合力トップ2は米・APPLIED MATERIALS、荏原
- 2015年10月21日 13:00:00
- マネー
- Dream News
株式会社パテント・リザルトは2015年10月21日、日本に出願されたCMP関連技術について、特許分析ツール「Biz Cruncher」を用いて参入企業に関する調査結果をまとめ、レポートの販売を開始しました。
CMP(化学機械研磨)は、半導体プロセスにおけるウェハー平坦化に使われる技術です。配線幅の微細化や配線層の多層化が進むにつれて求められるウェハー平坦度も厳しくなることから、CMP技術は半導体プロセスの中でも非常に重要なものとなっています。本調査ではCMPに関する特許を集計し、各個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」をベースとして、特許の質と量から総合的に見た評価を行いました。
その結果、「総合力ランキング」では、1位APPLIED MATERIALS、2位荏原と、世界シェアトップの2社が上位となりました。
総合力1位のAPPLIED MATERIALSは終点検出に関する特許、2位の荏原は基板保持に関する特許が高い注目度となっています。総合力3位のニコンは既にCMP事業から撤退しているものの、関連特許は上位2社に次ぐ総合力及び件数を維持し続けています。同社の注目度が高い特許として膜厚測定のための装置に設けた窓部構造に関する技術が挙げられ、近年においても他社特許の審査の過程で引用されることが多いという特徴があります。
次に、総合力上位2社について、特許分類の一つであるFタームを用い、CMP技術における課題別出願件数を集計しました(内訳出願年、集計に用いたFタームは件数上位20分類)。
両社とも「検知方法の改良(モニタリング方法)」についての出願が集中しており、かつ2011年以降の出願も多くなっています。両社の差が顕著な課題としては「工程効率化、安定化」、「構成、配置」、「小型、省スペース化」が挙げられ、どの分類も荏原の出願件数がAPPLIED MATERIALSの倍以上となっています。一方でAPPLIED MATERIALSの件数が荏原を上回る課題には「ディッシング、エロージョン等低減」が挙げられるものの、2011年以降は両社とも出願が見られません。また、荏原は2011年以降も多様な課題についての出願が見られ、APPLIED MATERIALSは「検知方法の改良(モニタリング方法)」に集中しているという特徴があります。
本分析の詳細については、特許・技術調査レポート「CMP関連技術」にてご覧いただけます。
■価格:100,000円~(税抜)
お申し込みは下記URLをご参照ください。
http://www.patentresult.co.jp/news/2015/10/cmp1.html
<<特許・技術調査レポートについて>>
http://www.patentresult.co.jp/report/index.html
<<特許分析セミナー情報>>
http://www.patentresult.co.jp/seminar/
<< 本件に関するお問い合せ先 >>
株式会社パテント・リザルト 事業本部 営業グループ
Tel:03-5835-5644、Fax:03-5835-5699
ホームページURL:http://www.patentresult.co.jp/
<< 会社概要 >>
社名:株式会社パテント・リザルト
住所:〒111-0053 東京都台東区浅草橋5-3-2 秋葉原スクエアビル4 階
事業内容:特許分析ソフトウェア、技術力評価指標の開発・販売、情報提供など
藤本美貴、子供が持ち帰る上履きは「洗ってないです」理由に感銘受けた中越典子「師匠だ」
【巨人】岡本和真が9回に起死回生同点弾「打てる気していた」ドラ1西舘勇陽の記念星つなげた
「めちゃイケ」46歳女優がタンクトップ姿&美腹筋全開「くびれ素敵」「ウエスト細っ」絶賛の声
被害者は動画配信の古株…捜査員が直面した「壁」 多摩川・遺体遺棄
及川奈央がカープユニ姿「今年初観戦」さらに“サプライズプレゼント”送り主はあの日本一戦士
熊谷真実「98歳とは信じられない若さ」石井ふく子氏とのツーショット公開
【巨人】菅野智之、7回1死までノーノ―「一番難しいイニング。いい勉強に」チームの勝利喜ぶ
【日本ハム】稲葉篤紀2軍監督が“トッププロスペクト”細野晴希、孫易磊の現状と今後に言及
【東京V】新布陣で神戸に勝利 城福監督「初めての割に機能した。全員が意識高くやってくれた」
【阪神】岡田監督、逆転許したゲラと岩崎に「いつも1点差で投げとってそれは酷よ」/一問一答2
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
小倉優子、不自然な“二重ライン”にネット騒然「やっぱり整形?」
元めちゃイケメンバーの三中元克(32)現在は何をしているのか調べてみた!
トミーズ健、父が遺した口座解約で銀行とトラブルも…「真実」にガックリ
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
藤田ニコル「初めてした日」ゆうちゃみ「体位とかも全部」親に明かしたギャル的「性事情」に騒然
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
田中美久、ビキニ姿でヒップラインと“美背中”大放出!美しすぎるにもほどがある
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
人気芸人の14歳モデル長女”衝撃の可愛さ”に絶賛殺到「気絶しそう」「顔小さい」
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
元めちゃイケメンバーの三中元克(32)現在は何をしているのか調べてみた!
ヒカル、浮気相手とのLINE流出にドン引きの声「キモすぎる」「吐きそう」
TikTokを賑わす「フエラムネごめんなサイダー味」がセブンイレブンで再販!じゅるるマスカットも買うなら今!
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
完全にダマされた! 『ラヴィット!』あのちゃん“事故レベル”大暴走は『水ダウ』遠隔操作のしわざだった ネットも納得
小倉優子、不自然な“二重ライン”にネット騒然「やっぱり整形?」
藤本美貴、子供が持ち帰る上履きは「洗ってないです」理由に感銘受けた中越典子「師匠だ」
【巨人】岡本和真が9回に起死回生同点弾「打てる気していた」ドラ1西舘勇陽の記念星つなげた
「めちゃイケ」46歳女優がタンクトップ姿&美腹筋全開「くびれ素敵」「ウエスト細っ」絶賛の声
被害者は動画配信の古株…捜査員が直面した「壁」 多摩川・遺体遺棄
及川奈央がカープユニ姿「今年初観戦」さらに“サプライズプレゼント”送り主はあの日本一戦士
熊谷真実「98歳とは信じられない若さ」石井ふく子氏とのツーショット公開
【巨人】菅野智之、7回1死までノーノ―「一番難しいイニング。いい勉強に」チームの勝利喜ぶ
【日本ハム】稲葉篤紀2軍監督が“トッププロスペクト”細野晴希、孫易磊の現状と今後に言及
【東京V】新布陣で神戸に勝利 城福監督「初めての割に機能した。全員が意識高くやってくれた」
【阪神】岡田監督、逆転許したゲラと岩崎に「いつも1点差で投げとってそれは酷よ」/一問一答2