CMP関連技術、特許総合力トップ2は米・APPLIED MATERIALS、荏原
- 2015年10月21日 13:00:00
- マネー
- Dream News
- コメント
株式会社パテント・リザルトは2015年10月21日、日本に出願されたCMP関連技術について、特許分析ツール「Biz Cruncher」を用いて参入企業に関する調査結果をまとめ、レポートの販売を開始しました。
CMP(化学機械研磨)は、半導体プロセスにおけるウェハー平坦化に使われる技術です。配線幅の微細化や配線層の多層化が進むにつれて求められるウェハー平坦度も厳しくなることから、CMP技術は半導体プロセスの中でも非常に重要なものとなっています。本調査ではCMPに関する特許を集計し、各個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」をベースとして、特許の質と量から総合的に見た評価を行いました。
その結果、「総合力ランキング」では、1位APPLIED MATERIALS、2位荏原と、世界シェアトップの2社が上位となりました。
総合力1位のAPPLIED MATERIALSは終点検出に関する特許、2位の荏原は基板保持に関する特許が高い注目度となっています。総合力3位のニコンは既にCMP事業から撤退しているものの、関連特許は上位2社に次ぐ総合力及び件数を維持し続けています。同社の注目度が高い特許として膜厚測定のための装置に設けた窓部構造に関する技術が挙げられ、近年においても他社特許の審査の過程で引用されることが多いという特徴があります。
次に、総合力上位2社について、特許分類の一つであるFタームを用い、CMP技術における課題別出願件数を集計しました(内訳出願年、集計に用いたFタームは件数上位20分類)。
両社とも「検知方法の改良(モニタリング方法)」についての出願が集中しており、かつ2011年以降の出願も多くなっています。両社の差が顕著な課題としては「工程効率化、安定化」、「構成、配置」、「小型、省スペース化」が挙げられ、どの分類も荏原の出願件数がAPPLIED MATERIALSの倍以上となっています。一方でAPPLIED MATERIALSの件数が荏原を上回る課題には「ディッシング、エロージョン等低減」が挙げられるものの、2011年以降は両社とも出願が見られません。また、荏原は2011年以降も多様な課題についての出願が見られ、APPLIED MATERIALSは「検知方法の改良(モニタリング方法)」に集中しているという特徴があります。
本分析の詳細については、特許・技術調査レポート「CMP関連技術」にてご覧いただけます。
■価格:100,000円~(税抜)
お申し込みは下記URLをご参照ください。
http://www.patentresult.co.jp/news/2015/10/cmp1.html
<<特許・技術調査レポートについて>>
http://www.patentresult.co.jp/report/index.html
<<特許分析セミナー情報>>
http://www.patentresult.co.jp/seminar/
<< 本件に関するお問い合せ先 >>
株式会社パテント・リザルト 事業本部 営業グループ
Tel:03-5835-5644、Fax:03-5835-5699
ホームページURL:http://www.patentresult.co.jp/
<< 会社概要 >>
社名:株式会社パテント・リザルト
住所:〒111-0053 東京都台東区浅草橋5-3-2 秋葉原スクエアビル4 階
事業内容:特許分析ソフトウェア、技術力評価指標の開発・販売、情報提供など
前澤友作氏「全ての方向で法的措置を検討します」と警告
ドジャース、世界一貢献のエドマンと再来年以降の契約延長交渉 来季終了後FAも話し合い開始
慶大・清原正吾、独立Lなど9球団のオファー断りバット置く決断 一般就職目指すも留学も興味か
【広島】新井体制3年目の来季コーチングスタッフ発表 野村祐輔氏が3軍コーチ兼アナリスト新任
筋断裂も強行出場したドジャースの35歳、リハビリの様子公開 WS終了後の手術は終了した模様
女性の下着選びに関する実態調査 約半数がバストケアをしていない
現役引退を決断した慶大・清原正吾はなぜ小学校で野球をやめ、大学で再び野球に戻ってきたのか
大谷翔平「カモーン」ドジャース、WBC準決勝で日本にサヨナラ負けの救援右腕ガエゴスを獲得
【阪神】「何かあったら俺が表に…」上本打撃コーチが藤川監督からもらった言葉/新コーチに聞く
久間田琳加が新イメージモデルに♡大人気の”ほぼ裸眼”レンズに新色が登場
クロちゃんを騙した「レイちゃま(小林レイミ)」の現在が別人すぎると話題に
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
二階堂ふみが結婚!?お相手が衝撃的過ぎてネット民「マジか・・・」
前澤友作氏「全ての方向で法的措置を検討します」と警告
俳優・火野正平さん死去 75歳 腰を骨折し体調崩す
斎藤元彦・前知事の再選確実 兵庫県知事選、失職から返り咲き
3刷目の重版決定!榎原依那のファースト写真集「Inaism」から、完全未公開カットをご紹介♡
小池里奈「超むっっっっっちむち」美バスト輝く黒ブラジャー近影に称賛「色気が増してる」
岡田将生が高畑充希との結婚発表
三浦瑠璃氏、斎藤元彦氏再選に「一番の敗者は当然、マスコミです」と私見
クロちゃんを騙した「レイちゃま(小林レイミ)」の現在が別人すぎると話題に
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
二階堂ふみが結婚!?お相手が衝撃的過ぎてネット民「マジか・・・」
四千頭身、テレビから消えた理由を明かすも批判殺到「人のせいにするな」
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
父が再婚の丸山隆平(36)現在の家族関係がとんでもないことになっていたと話題に
3時のヒロイン福田麻貴(32)は元アイドルだった!昔の姿がかわいいとヲタク歓喜
たぬかな、「あのチビやろ?」迷惑系黒人YouTuberへの苦言が物議
多部未華子(30)結婚の裏事情あまりにも恐ろしすぎると話題に!
「愛が生まれた日」藤谷美和子(56)の現在がヤバい!?徘徊生活を送っていた過去も明らかに。
前澤友作氏「全ての方向で法的措置を検討します」と警告
ドジャース、世界一貢献のエドマンと再来年以降の契約延長交渉 来季終了後FAも話し合い開始
慶大・清原正吾、独立Lなど9球団のオファー断りバット置く決断 一般就職目指すも留学も興味か
【広島】新井体制3年目の来季コーチングスタッフ発表 野村祐輔氏が3軍コーチ兼アナリスト新任
筋断裂も強行出場したドジャースの35歳、リハビリの様子公開 WS終了後の手術は終了した模様
女性の下着選びに関する実態調査 約半数がバストケアをしていない
現役引退を決断した慶大・清原正吾はなぜ小学校で野球をやめ、大学で再び野球に戻ってきたのか
大谷翔平「カモーン」ドジャース、WBC準決勝で日本にサヨナラ負けの救援右腕ガエゴスを獲得
【阪神】「何かあったら俺が表に…」上本打撃コーチが藤川監督からもらった言葉/新コーチに聞く
久間田琳加が新イメージモデルに♡大人気の”ほぼ裸眼”レンズに新色が登場