starthome-logo 無料ゲーム
starthome-logo

ギガフォトン、最新型ArFエキシマレーザーGT65Aを発表


最先端の液浸露光プロセスの微細化サポートと環境負荷低減を同時に実現、
2017年内の出荷を目指す




栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社:
栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com）は、新製品である最先端の液浸露光（リソグラフィ）装置向けArFエキシマレーザー「GT65A」を発表しました。同製品は2017年内の出荷を目指します。



GT65Aは、ギガフォトンのArFプラットフォームの特徴である、優れたスペクトルコントロール技術をさらに進化させることにより、1X
nm（ナノメートル）以下の微細化プロセスをサポートします。また環境への負荷低減技術を標準搭載しており、あらゆる運転条件下でのヘリウムフリー運転および同社のネオンガスリサイクル装置である「hTGM」対応を標準装備しています。




GT65Aのスペクトルコントロールについては、二つの最新技術を標準搭載しました。一つは、従来機種と比較してスペクトル性能の安定性を4倍高めた「eMPL
Solid」です。eMPL
Solidはスペクトル幅(E95)の安定性を、露光フィールドごとに±5fm（フェムトメートル）という高いレベルで実現し、CD均一性の向上に貢献します。もう一つは、スペクトル幅を450fmから200fmまでコントロールする「hMPL」です。hMPLはスペクトル幅をプロセスに従って最適化することにより、プロセスウィンドウの最大化に貢献します。



またGT65Aが標準装備している、ギガフォトンのEcoPhotonTMプログラムに沿って開発されたヘリウムフリーおよびhTGM技術は、環境負荷低減だけでなく、ヘリウムガス、ネオンガスにおける将来の供給不足や価格に対するリスクを大幅に減らし、お客様のサステイナビリティ向上にも貢献します。



ギガフォトン代表取締役社長の都丸仁はこうコメントしています。「当社の新製品GT65Aは、絶えず微細化に挑む半導体装置業界へギガフォトンが提示するソリューションの一つであり、創業以来変わることのない業界へのコミットメントと、露光機メーカーに対する貢献の証でもあります。私達は今後も露光性能の向上に向け、技術に投資し続けます。」



GT65Aを始めとするギガフォトンのArFエキシマレーザーについては、米国カリフォルニア州サンノゼで2月26日（米国時間）より3月2日まで開催される先端露光の国際シンポジウム(SPIE
Advanced Lithography 2017)で発表予定です。
http://spie.org/conferences-and-exhibitions/advanced-lithography



ヘリウムフリーに関する過去のニュースリリースはこちら



hTGMに関する過去のニュースリリースはこちら



ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。




Contacts


報道関係者向けの連絡窓口：
ギガフォトン株式会社
経営企画部
松井章記
TEL: 0285-37-6931
Eメール:
web_info@gigaphoton.com



    アクセスランキング

    1. 高橋ジョージ「やっぱりお縄だよ」新曲の印税引き出したら銀行の態度が…その後に残高見て仰天

    2. 56歳熟女がかっこよさと自分らしさを追求「グラビアは60まで続ける」

    3. 「普通は即死」渡辺香津美、危篤状態から在宅療養に　妻「生きていてさえくれれば…」

    4. 粗品がバッサリ「おじさんパーカー騒動」の27歳女性脚本家を“ひと言”で介錯

    5. 上沼恵美子に「番組ナメてはりません？」ブチ切れされた大物俳優が「君は…」

    6. 北九州中学生2人死傷　近くに住む40代男性を殺人未遂容疑で逮捕

    7. さらば・森田、『ラヴィット』で放送禁止用語の大失言！麒麟・川島が即謝罪もブチ切れ

    8. 中川翔子「加害者を守る必要なんかない」　北九州・中学生殺傷事件では容疑者報道めぐり物議

    9. 特殊捜査係20人が窓ガラス割り突入、容疑者確保　中学生2人殺傷

    10. 二宮和也、45歳女性タレントに打ち合わせでの悪い態度を暴露され「何であいつ来るんだよ」恨み節

    1. 多部未華子（30）結婚の裏事情あまりにも恐ろしすぎると話題に！

    2. 浜崎あゆみ、バスト丸見えの投稿にネット騒然「巨乳すぎて不自然」

    3. 二階堂ふみが結婚！？お相手が衝撃的過ぎてネット民「マジか・・・」

    4. 中山美穂さんが“一番心を許していた親友”は男性芸人「つらすぎるけど泣かないように頑張ります」

    5. クロちゃんを騙した「レイちゃま（小林レイミ）」の現在が別人すぎると話題に

    6. 高橋ジョージ「やっぱりお縄だよ」新曲の印税引き出したら銀行の態度が…その後に残高見て仰天

    7. 千円札に込めた奇跡！明石家さんまが30年間大切にした「ラブレター」に感涙

    8. 飯島直子「いつみんなに言おうか…」別れを報告「お空へ旅立ちました」

    9. まるで別人？浜崎あゆみのFNS歌謡祭での姿に驚きの声

    10. 54歳急死の中山美穂さん自宅に妹、中山忍の姿　報道陣に深々と頭下げる

    Tips

    1. ゲーミングPCとしても使えるマウスのパソコン！各ブランドの違いやおすすめPCのご紹介

    2. PCを購入する前に知っておきたい豆知識。国内メーカーと海外メーカーはどっちがおすすめ？

    3. 初めてゲーミングPCを購入する人におすすめのブランド3選

    4. Windows10サポート終了間近！PC買い替えのベストタイミングと選び方

    5. VLOOKUP関数の次はこれ！MATCH関数とINDIRECT関数を活用した2つの条件で検索する方法

    game_banner
    おすすめ

    1. 王貞治氏、80年の巨人長嶋茂雄監督辞任の舞台裏明かす「実は長嶋さんが辞任発表した場所は…」

    2. テレ東・中根舞美アナ台湾旅行ショット公開「日本にこんなにカワイイ人がいるって…」ファン歓喜

    3. 小籔千豊「パーカーおじさん論争」に「今こそ逆にパーカー」

    4. 松井秀喜氏、恩師の長嶋茂雄氏への思い語る「次の世代につなぐのが使命かな」長嶋イズム継承へ

    5. 玉森裕太、木村拓哉と自撮り２ショット成功にガッツポーズ「人見知り激しい」沢村一樹がタレコミ

    6. NHK、長嶋茂雄氏の母チヨさんの談話収録した貴重レコード紹介「うちの仕事なんかちっとも…」

    7. 宮世琉弥、北欧の国への憧れ語る「海とか山とか岩とか…」1月から新ドラマ「問題物件」出演

    8. 内田理央「潜水艦が好きで…」“クセ強”趣味明かす「問題物件」共演の上川隆也と潜水艦トーク展開

    9. JUMP中島裕翔「ボブっていう…」”クセ強”趣味明かしスタジオ騒然「ストレス発散になる」

    10. 徳光和夫「なんとしてもこの人の後輩になりたい」　立大時代の長嶋茂雄氏を生観戦で受験を決意

    Starthome

    StartHomeカテゴリー

    Copyright 2024
    ©KINGSOFT JAPAN INC. ALL RIGHTS RESERVED.