露光装置用光源は、液晶パネルの重要構成部品であるカラーフィルターの製造において、リソグラフィプロセスで使用される露光装置の光源ユニットだ。露光装置の全体は専門メーカーが製造しており、同社は専門メーカーに対して光源ユニット(MLS = Multi Lamp System)として納入している。現状は、国内トップの装置メーカーに対して専属で納入している。MLSはランプとランプを支える筐体から成るが、ランプはランプ事業に、筐体は製造装置事業にそれぞれ収益計上される。売上高の構成比は筐体のほうが大きいが、利益率はランプ部分のほうが高いとみられる。