世界初、垂直ブリッジマン法による6インチβ型酸化ガリウム単結晶の作製に成功
(株)ノベルクリスタルテクノロジーは、垂直ブリッジマン(VB) 法による6インチβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶の作製に世界で初めて成功しました。本成果により、β-Ga2O3基板の大口径化・高品質化の実現に向けた大きな前進が期待できます。β-Ga2O3パワーデバイスが広く普及すれば、太陽光発電向けパワーコンディショナー、産業用汎用(はんよう)インバーター、電源などのパワーエレクトロニクス機器の高効率化・小型化、さらには自動車の電動化や空飛ぶクルマなどの電気エネルギーの高効率利用への貢献が期待できます。
概要
近年、シリコン(Si)製のパワーデバイスの性能を超える材料として炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)が注目を集めています。β型酸化ガリウム(β-Ga2O3)はこの2つの材料よりも大きいバンドギャップエネルギーを有するため、より高性能なパワーデバイスが実現される可能性があり、かつSiと同じように「融液成長法」によって高品質の単結晶基板を安価に製造できる新しい半導体の材料です。これらの特徴から、β-Ga2O3パワーデバイスが実用化されれば、家電や電気自動車、更には鉄道車両、産業用機器、太陽光発電、風力発電などのパワーエレクトロニクス機器のさらなる低損失・低コスト化が可能となるため、国内外の企業および研究機関において開発が進められています。また、β-Ga2O3パワーデバイスの低コスト化を実現し、広く社会に普及させるためには、β-Ga2O3基板の大口径化が必須であり、単結晶の大型化が強く望まれます。
株式会社ノベルクリスタルテクノロジーは、これまで主にEFG(Edge-defined Film-fed Growth)法による単結晶製造技術を開発しており、現在研究開発用として2インチおよび100 mm基板の製造・販売を行っています。さらなる基板の大口径化・高品質化を達成するため、JST 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)において、VB法による6 インチβ-Ga2O3基板の開発に取り組んできました。VB法によるβ-Ga2O3単結晶育成技術は信州大学が発案し開発を進め、これまでに2インチおよび4インチの単結晶の作製に成功してきました。(株)ノベルクリスタルテクノロジーは信州大学よりこの育成技術を継承し、継続的に大口径化の開発を行ってきました。その結果、今回VB法6インチ結晶育成装置を立ち上げ、世界初となるVB法による6インチ単結晶の作製に成功しました。また、結晶の評価・解析を担当する産業技術総合研究所においてEFG法およびVB法を用いて作製した単結晶から取得した基板をX線トポグラフィ法により評価し比較しました。その結果、VB法による結晶では、EFG法によるもので見られた高密度の直線状欠陥が、大幅に抑制されていることを見いだし、品質的にもVB法によって作製した結晶が優れていることが実証されました。
※本プレスリリースでは、化学式や単位記号の上付き・下付き文字を、通常の文字と同じ大きさで表記しております。
正式な表記でご覧になりたい方は、産総研WEBページ(https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2023/pr20231225/pr20231225.html)をご覧ください。
プレスリリースの詳細はこちら
https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2023/pr20231225/pr20231225.html
MAX・MINAの母が新型コロナ感染後死去「悔しくて…悔しくて…何でコロナ?」母の日に悲痛
あの大谷翔平を…今や屈指の守護神がメジャーを実感した瞬間明かす「昨年のあの瞬間は興奮した」
【楽天】外野陣ミス連発…序盤から大量失点 プロ通算160勝目狙う先発岸孝之の足引っ張る
4児の母・平愛梨、海外出産は「慣れました」子供たちの生まれた国々に「すごいな」の声
草なぎ剛、高校は芸能コースなのに3年間無遅刻無欠席 友達できなかった理由にスタジオ爆笑
草なぎ剛「友達はタモリさんしかいない」現在も続く“独特の関係”明かす
草なぎ剛「止まってないんですけど」蚊が気になって…トーク中マイペースに首をさすり続ける
【東京V】3点差追いつき10試合負けなしも城福監督笑顔なし「判定基準よく分からなかった」
世界初のブタの腎臓移植した患者死亡 死因は「移植と無関係」
元AKBで現社長の島田晴香氏が第1子を出産「母として1人の女性として日々成長していけたら」
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
73歳神田正輝「旅サラダ」生放送で“12歳下俳優”から呼び捨てされ激論
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
曙と熱愛した相原勇(52)の現在が衝撃的すぎると話題に
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
55歳森口博子「だっちゅーの」鮮やかビキニ姿披露にX歓喜「破壊力ハンパない」「スゴすぎ」
「ふてほど」25歳女優“薔薇ブラ”でポロリ寸前?過激衣装に「見えちゃう」「刺激強すぎ」
大物炎上系ユーチューバー”衝撃の預金残高”公開「すげぇ」「エグい」驚きの声
水原一平容疑者 最高刑「懲役33年」トレンド入り 「人生詰んだ」「稀代の詐欺師」の声
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
深夜のファミリーマート徘徊、必ず入っている「フエラムネのミニチュアおもちゃ付」を探し求めた結果……
完全にダマされた! 『ラヴィット!』あのちゃん“事故レベル”大暴走は『水ダウ』遠隔操作のしわざだった ネットも納得
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
ガーシー、またも綾野剛の暴露写真でネット歓喜「この写真見て笑っちゃう」
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
小澤征悦と再婚した桑子真帆アナ(34)黒い過去が流出、衝撃の過去にネット騒然
ガーシー、佐野ひなこの暴露を示唆でネット騒然「ファンだったのに」
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
MAX・MINAの母が新型コロナ感染後死去「悔しくて…悔しくて…何でコロナ?」母の日に悲痛
あの大谷翔平を…今や屈指の守護神がメジャーを実感した瞬間明かす「昨年のあの瞬間は興奮した」
【楽天】外野陣ミス連発…序盤から大量失点 プロ通算160勝目狙う先発岸孝之の足引っ張る
4児の母・平愛梨、海外出産は「慣れました」子供たちの生まれた国々に「すごいな」の声
草なぎ剛、高校は芸能コースなのに3年間無遅刻無欠席 友達できなかった理由にスタジオ爆笑
草なぎ剛「友達はタモリさんしかいない」現在も続く“独特の関係”明かす
草なぎ剛「止まってないんですけど」蚊が気になって…トーク中マイペースに首をさすり続ける
【東京V】3点差追いつき10試合負けなしも城福監督笑顔なし「判定基準よく分からなかった」
世界初のブタの腎臓移植した患者死亡 死因は「移植と無関係」
元AKBで現社長の島田晴香氏が第1子を出産「母として1人の女性として日々成長していけたら」