ERS、アドバンストパッケージングウエハー向けの最新反り測定装置「Wave3000」を発表
- 2023年06月01日 09:30:00
- マネー
- Dream News
【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000281454&id=bodyimage1】
Wave3000: “ERS presents its latest innovation, Wave3000, a state-of-the-art warpage metrology tool”
ERS electronicの最高経営責任者(CEO)であるLaurent Giai-Miniet氏は、次のように述べています。「アドバンストパッケージング技術の採用が進むにつれ、半導体製造における反りの問題はますます複雑になってきていることがわかります。 反りは、「素材特性の違い」や「温度変化」、「取り扱いや加工時の圧力」など、さまざまな要因で発生することがあります。 ウエハーの反りは、製造過程の問題だけでなく、欠陥や歩留まり低下につながる生産課題を引き起こす可能性があります。」
この問題を解決するためにERSは、200mmから300mmまでのウエハーの反りを、1分以内にかつてない精度で測定および分析できる装置Wave3000を開発しました。 この測定装置により、シリコンやモールドコンパウンドをはじめとする、さまざまなウエハーの表面や材質を測定することが可能です。 特許出願中の独自の測定方法は、ピンやエンドエフェクタなど、さまざまなプラットフォームでの測定を可能にし、柔軟性を提供します。
測定後にWave3000が作成するウエハーのインタラクティブな3Dビューによって、反りの挙動についてより理解を深められるようになります。 3Dビューは回転や拡大が可能で、あらゆる角度から反りの分析結果を見て、ウエハー製造プロセスへの影響を評価することができます。
ERS electronicのファンアウト装置事業部門のマネージャーであるDebbie-Claire Sanchez氏は、こう語ります。「当社の新しい装置は、高い柔軟性と精度を備え、歩留まり低下やウエハー破損を避けるために重要なウエハー特性である反り、ボウ、ウエハーの厚さを測定することができます。 Wave3000の高度なソフトウェアは、ウエハー表面の正確な3Dマップを生成します。これによりユーザーは、ウエハーの性能に与える反りの影響を分析し、より良い結果を得るためにプロセスステップを最適化する方法について、情報に基づいた決定を下せるようになります。
この技術革新により、ファンアウト・ウエハーレベル・パッケージング用の自動、半自動および手動の熱剥離・反り修正装置のポートフォリオが拡大しました。 Wave3000は、アドバンストパッケージング技術に取り組む半導体メーカー、OSAT、研究機関など、非常に大きな成長市場をターゲットとしています。
Wave3000は現在、購入可能です。
ERSについて
ERS electronicは50年以上にわたり、半導体産業向けに革新的な熱試験ソリューションを提供してきました。 同社はウエハープロービング用の高速かつ高精度な空冷式サーマルチャックシステムや、FOWLP/PLP用の熱剥離・反り修正装置で高い評価を得ています。
www.ers-gmbh.com
画像 - https://mma.prnasia.com/media2/2088218/ERS_electronic_Wave3000.jpg?p=medium600
配信元企業:ERS electronic GmbH
プレスリリース詳細へ
ドリームニューストップへ
藤井聡太名人と豊島将之九段、「3種の柑橘」を注文 名人戦おやつ
右腕切断の佐野慈紀氏「幻肢というらしい…不意に右手があるように動かしたくなる」
ドジャース、“ジャーニーマン”救援左腕バンダを金銭トレードで獲得、7年間に7球団でプレー
ソーセージ丼
【浦和】明本考浩、期限付き移籍中のベルギー1部ルーベンへの完全移籍を発表
肺気胸で療養の長渕剛「いよいよ復活!」シャウト!2m超えの巨体ボディーガードもお披露目
大谷翔平「2番DH」レッズ先発の右腕モンタスは得意、24打数10安打の打率4割1分7厘
お笑いトリオNow on sale「5月いっぱいで解散します」PANAはピン芸人継続
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
ドジャース・ヘイワードがILから復帰、ロースター大幅変更 今季9発マンシーはIL入り
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
大谷翔平が不運な判定で2度見逃し三振 「えん罪退場」で話題の球審は引き揚げる大谷にブチギレ
ヒカル、浮気相手とのLINE流出にドン引きの声「キモすぎる」「吐きそう」
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
吉野家が「マスク外し強要疑惑」でプチ炎上、店員さんに聞いてみると……
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
時代劇の常識を覆す!仇討ち・無礼討ちの厳格なルール
元めちゃイケメンバーの三中元克(32)現在は何をしているのか調べてみた!
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
藤田ニコル「脱ぐ予定なかったのですが気づいたらノリノリで…」ヒョウ柄水着姿に大反響
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
ヒカル、浮気相手とのLINE流出にドン引きの声「キモすぎる」「吐きそう」
ガーシー、またも綾野剛の暴露写真でネット歓喜「この写真見て笑っちゃう」
大谷翔平が不運な判定で2度見逃し三振 「えん罪退場」で話題の球審は引き揚げる大谷にブチギレ
完全にダマされた! 『ラヴィット!』あのちゃん“事故レベル”大暴走は『水ダウ』遠隔操作のしわざだった ネットも納得
元めちゃイケメンバーの三中元克(32)現在は何をしているのか調べてみた!
73歳神田正輝「旅サラダ」生放送で“12歳下俳優”から呼び捨てされ激論
藤井聡太名人と豊島将之九段、「3種の柑橘」を注文 名人戦おやつ
右腕切断の佐野慈紀氏「幻肢というらしい…不意に右手があるように動かしたくなる」
ドジャース、“ジャーニーマン”救援左腕バンダを金銭トレードで獲得、7年間に7球団でプレー
ソーセージ丼
【浦和】明本考浩、期限付き移籍中のベルギー1部ルーベンへの完全移籍を発表
肺気胸で療養の長渕剛「いよいよ復活!」シャウト!2m超えの巨体ボディーガードもお披露目
大谷翔平「2番DH」レッズ先発の右腕モンタスは得意、24打数10安打の打率4割1分7厘
お笑いトリオNow on sale「5月いっぱいで解散します」PANAはピン芸人継続
個人投資家・有限亭玉介:銘柄選びは基本の業績重視でいくべし!直近で動いてきた株に注目【FISCOソーシャルレポーター】
ドジャース・ヘイワードがILから復帰、ロースター大幅変更 今季9発マンシーはIL入り