RubiLux™とVioLux™の蛍光体調合を用いた新しいプラットフォームは、広範囲の温度で正確かつ再現性の高い測定を実現します。
コロラド州デンバー--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、制御のソリューションを設計製造する世界的企業、Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)は、新しい変換コンバータープラットフォームと2種類の独自の蛍光体調合を適用し、FluorOptic®温度測定(FOT)ソリューションのLuxtron®シリーズを拡張しました。RubiluxTMとVioLuxTM蛍光体調合を使用するLuxtron M-1000コンバーターは、広範囲な温度で高精度の温度測定が可能であり、最も高度な半導体のエッチングと成膜プロセスで利用できます。
新しい光源と光検出のノイズ低減を施されたLuxtron M-1000はデュアルチャンネルに対応し、精度変動を最低± 0.2°Cに抑え、安定性を0.05°C以上に高め、-200～450°Cと、業界でも最大幅の動作温度範囲を実現しています。コンバーターは両方の蛍光体調合で動作するよう最適化され、温度範囲を最大限に拡大しています。
Advanced Energyでクリティカルセンシングと制御の戦略マーケティングとアプリケーションを担当するバイスプレジデント、Jeff Hebbはこう述べます。「3D NANDなどの半導体デバイス製造に使用される高度な高アスペクト比（HAR）エッチングでは、プロセスで水温が非常に重要なパラメーターとなります。HARエッチングプロセスを最適化するため、最先端の半導体メーカーは、極低温からホットチャックまで、非常に広範囲の動作温度に移行する動きを加速させています。正確で再現性の高い測定を広範囲の温度で実現することで、M-1000コンバーターと新しい蛍光体調合が、HARプロセスを用いた量産に必要な温度測定をすべての範囲で行えます。」
数十年にわたり、Advanced EnergyのLuxton FOTセンシング技術は、高温度精度と広い動作範囲をもって、業界の主役として活躍しています。Luxtron FOTセンシングシステムは蛍光体被膜を施された光ファイバープローブと、高度な光源、光検出専用のソフトウェアアルゴリズム、低ノイズ増幅回路を持つ高性能コンバーターを組み合わせています。光学センシングに基づいて測定が行われるため、Luxtron FOTシステムはプラズマエッチングと成膜、MRTシステム、電源変圧器をなど、強力な磁場を伴うプロセスで、従来の電気センサーよりも精度を高めています。
詳細な製品情報と技術仕様は、当社のウェブサイトをご覧ください。
Advanced Energyについて
Advanced Energy Industries, Inc.(Nasdaq: AEIS)は、ミッションクリティカルなアプリケーションとプロセスに使用される、高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、制御のソリューションを設計製造する、世界的企業です。Advanced Energyの電源ソリューションを使用して、顧客は半導体設備、産業、製造、電気通信、データセンター、コンピューティング、ヘルスケアなど多種多様な産業における複雑なアプリケーションで、イノベーションを実現できます。専門技術のノウハウを蓄積して、世界中で素早くサービスとサポートを顧客へ供給する体制を整え、当社は顧客との協力的な関係を維持して技術革新を果たし、顧客の成長を支援して、電源の未来へ向けイノベーションを生み出します。Advanced Energyは世界中の顧客へ40年にわたり、最高の電源ソリューションを提供することに取り組んでおり、本社は米国コロラド州のデンバーに所在します。
その他の情報は、www.advancedenergy.comをご覧ください。
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