新型のRF電力供給とタップ選択型のマッチングネットワークが、次世代のプラズマ処理で正確な再現性の高い制御とダイナミックな応答を実現
コロラド州デンバー--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ）— 高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、制御ソリューションの世界的企業、Advanced Energy (Nasdaq: AEIS)は本日、高度なデジタル制御電力供給とデジタル型の高精度インピーダンスマッチングネットワークを組合わせた、総合的なRF電力供給ソリューションを発表しました。薄膜産業アプリケーション向けに設計されたALTA™プラットフォームは、多目的、高精度、再現性の高い制御を実現し、プロセスの安定性を増して同クラス最高の効率を達成します。
ALTAプラットフォームは13.56 MHzラックマウント電源と、1.5 kW～6 kWの電力レベル、13.56 MHzタッピングデジタルマッチングネットワークで構成されます。同シリーズは、太陽光パネル、フラットパネルディスプレイ、高精度光学部品、自動車用ガラスの製造など、正確で信頼性と再現性の高い高精度電力供給が必要な、プラズマベースの産業プロセス向けに最適化されています。
Advanced Energyのマーケティング部門でプラズマ電力担当のシニアディレクターを務めるDhaval Dhayatkarはこう述べます。「薄型製造技術が発展して高速のプラズマ転換が主流になりつつあり、プラズマの急速な変化に合わせてダイナミックに応答可能な、高精度のRF制御を持つ電力ソリューションへの需要が増しています。ALTA電源は、周波数の微調整、電力とインピーダンスのリアルタイム測定、狭い電力調整、アーク管理、位相同期など、数種類の高度な機能を提供します。」
ALTA電源はフルデジタルの制御とダイナミックな応答を急速なプラズマの変化に適用し、安定して信頼性の高い出力を確保します。ALTAマッチングネットワークはタッピングコイルシステムを使用して広範囲に微調整でき、様々なインピーダンス範囲へ簡単に調節できます。応答の再現性が高いため、各種の動作条件で、マッチング間およびラン・ツー・ラン両方にて供給電力の偏差を最小限に抑えます。
高度なデジタルアーキテクチャを導入したALTAプラットフォームは、非常に正確なプロセス測定と制御、EtherCATやProfinetなど最新型の通信インターフェースとのシームレスなシステム統合を実現しています。
詳細な製品情報と技術仕様はこちらをご覧ください：https://www.advancedenergy.com/products/plasma-power-generators/rf-plasma-generators/alta/
Advanced Energyについて
Advanced Energy Industries, Inc.(Nasdaq: AEIS)は、ミッションクリティカルなアプリケーションとプロセスに使用される、高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、制御のソリューションを設計製造する、世界的企業です。Advanced Energyの電源ソリューションを使用して、顧客は半導体設備、産業、製造、電気通信、データセンター、コンピューティング、ヘルスケアなど多種多様な産業における複雑なアプリケーションで、イノベーションを実現できます。専門技術のノウハウを蓄積して、世界中で素早くサービスとサポートを顧客へ供給する体制を整え、当社は顧客との協力的な関係を維持して技術革新を果たし、顧客の成長を支援して、電源の未来へ向けイノベーションを生み出します。Advanced Energyは世界中の顧客へ40年にわたり、最高の電源ソリューションを提供することに取り組んでおり、本社は米国コロラド州のデンバーに所在します。
その他の情報は、www.advancedenergy.comをご覧ください。
Advanced Energy | 高精度。パワー。パフォーマンス。
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Grand Bridges for Advanced Energy Industries, Inc.
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