韓国華城--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 韓国の真空炉専門企業であるサーモバック(ThermVac Inc.)社は、自社が日本のイビデン社の韓国法人であるイビデン・グラファイト・コリア(Ibiden Graphite Korea)の浦項工場に設置したカーボン純化処理用真空炉が現在順調に稼動中であることを発表した。
当該カーボン純化処理用真空炉は、積載用量が2000kg(有効空間4.5m3、幅1500mm×高さ1500mm×奥行2000mm)になる超大型装置であり、半導体、太陽光、光ファイバーなどの生産工程で使用されるカーボン製品に対して不純物含量が最低0.5ppm以下となる高純化処理を行う装置である。最高使用温度は2400℃で、加熱室内部の反応マッフル内に塩素ガスを流してカーボン被処理物に含有されている金属不純物を塩化物として排気処理する。
イビデン社では、「サーモバック社の純化炉は反応マッフル内外の圧力差を最適に維持することにより、生成された塩化物の大部分が外部に排気されて、既存の日本装備に比べて真空炉内部の清浄状態が極めて優れている。反応マッフルドアの開閉装置も使いやすく、2人以上で行っていた製品の装入及び引き出し作業を1人で行うことができる。加熱室の構造は分解・組み立てが容易で、2日以上必要であった補修作業を4～5時間以内で行うことができ、窒素循環による加熱室強制冷却機能によって工程サイクルを10時間以上短縮できるようになった」と好評であった。
サーモバック社は韓国政府の技術開発支援事業で2年にわたってカーボン純化炉の国産化開発を進めながら、要素技術を確保した。これを土台としてカーボン純化工程をたゆまず研究して、技術の蓄積とともに装置応用能力を拡大して日本、中国など素材部品の巨大市場に挑戦することができるようになった。
現在サーモバック社は加熱室と冷却室を分離した2室型カーボン純化炉の開発を完成させて、装置の耐久性を検証している。当該技術は30時間以上を必要とするカーボン純化工程のサイクルを6～9時間に短縮させることができる。2021年中盤から2室型モデルを事業化して、2次電池及び半導体、太陽光など需要が増加している高純度カーボンの世界市場に向けて進出し拡大する計画である。
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