LazEdge レーザー加工SEMシステム
集束イオンビーム発生装置(FIB)を中心とした断面加工装置は、研究機関、大学、産業界などの科学技術分野で幅広く活用されていますが、近年その加工面のクオリティーに加え、大面積かつ高速加工ができる装置の需要が高まっています。「LazEdge」は日本電子が販売するSEMに浜松ホトニクス社製の独自のレーザー技術を融合し、電子顕微鏡試料室内でレーザー加工を可能とした装置です。高速かつ大面積加工により得られたクオリティーの高い断面試料を試料室外に開放することなく、SEMによる観察や元素分析、結晶方位解析などの各種解析にシームレスに移行できるため、金属試料解析をはじめ、大気非暴露を必要とする電池解析、高速断面加工を必要とする半導体の故障解析など、幅広いニーズに貢献します。
画像1: https://www.atpress.ne.jp/releases/596891/LL_img_596891_1.jpg
LazEdge レーザー加工SEMシステム
【主な特長】
(1) 高品質な断面加工を試料室内で実現
SEMにレーザー加工装置を搭載したLazEdgeは、空間的にレーザー光の位相変調を行うことができる独自の光学系を採用することで、試料室内で高速・広領域に対してリップス構造が少ない高品質な断面加工を実現します。
(2) 「LazEdge Shield」によりクリーンな状態で安定した加工
独自のシールド技術「LazEdge Shield」により、加工時に発生するデブリの飛散を最小限に抑え、検出器、鏡筒、試料室内壁を汚すことなくクリーンな加工を実現します。また、本レーザーシステムは、試料加工位置とシールド上でのレーザー照射位置に対して同時にフォーカスすることが可能であり、この技術により加工と同時にシールドのクリーニング(コンタミ防止)も可能です。これらの技術により、常に安定したパワーで高品質な断面加工が可能となります。
(3) 加工と観察をスループットよくシームレスに実現
SEM試料室内にシールドを設置し加工を行うことで、加工と観察をスループットよく、かつシームレスに実施することが可能です。例えば、EBSD測定において、レーザー加工のみでEBSD測定に必要な品質の断面が得られるため、加工・測定を自動的に繰り返すことで3D EBSDの取得も可能です。
【本体標準価格】
170,000,000円～
【販売予定台数】
10台/年
【関連リンク】
LazEdge
レーザー加工SEMシステム
https://www.jeol.co.jp/products/scientific/sem/lazedge.html
■会社概要
社名 ： 日本電子株式会社(JEOL Ltd.)
所在地 ： 〒196-8558 東京都昭島市武蔵野3-1-2
代表者 ： 代表取締役社長兼CEO 大井 泉
設立 ： 1949年5月30日
資本金 ： 213億9,418万円(2025年3月末時点)
事業内容： 理科学計測機器(電子光学機器・分析機器、計測検査機器)、
半導体関連機器、産業機器、医用機器の製造・販売・開発研究、
およびそれに附帯する製品・部品の加工委託、保守・サービス、
周辺機器の仕入・販売
URL ： https://www.jeol.co.jp/
■本件に関するお客さまからのお問い合わせ先
日本電子株式会社 SI営業本部
お問い合わせフォーム： https://www.jeol.co.jp/contacts/products.html
