図1：振動計測システム
図2：振動計測画面
図3：遠隔監視機能
1. 開発の背景
半導体市場の急速な拡大に伴い、生産現場では設備更新やライン再構築がこれまで以上のスピードで進んでおり、そのたびに振動環境の確認が求められています。こうした状況の中、「現場状況を迅速に把握したい」「設備移設の可否を早期に確認したい」といったニーズが一層高まっています。
しかし従来は、機材の運搬や設置・配線に多くの時間がかかり、さらに分析には高度な専門知識を要するため、結果の判断までに長いリードタイムが発生していました。新システムでは、無線計測、多点計測、リアルタイム分析により、迅速な振動計測・評価を可能としました。
2. 新システムの特長と効果
(1)無線化および多点化(図1参照)
小型・軽量のバッテリ駆動センサとパソコンをWi-Fi接続し、配線なしで振動計測が行えます。
特に、クリーンルームでの振動計測ではケーブル・機材の純水拭き上げ作業が大幅に削減でき、準備時間が短縮されます。また、3軸振動センサを6台まで接続可能なため、多点での振動を比較・評価することができます。
画像1: https://www.atpress.ne.jp/releases/576824/LL_img_576824_1.png
図1：振動計測システム
(2)リアルタイム分析(図2参照)
測定時のリアルタイム分析から、時々刻々の振動評価レベルを表示します。また、任意時刻を選択すると、その周波数成分を表示します。これらと生産施設の情報を比較することで、振動との因果関係を把握できます。
画像2: https://www.atpress.ne.jp/releases/576824/LL_img_576824_2.png
図2：振動計測画面
(3)遠隔監視(図3参照)
インターネット経由で遠隔地から現場の計測状況を確認でき、過去データも参照可能です。
常時計測により長期間のデータが蓄積されるため、振動環境の変化の把握や実質的な振動許容値の推定が可能です。
画像3: https://www.atpress.ne.jp/releases/576824/LL_img_576824_3.png
図3：遠隔監視機能
3. 今後の展開
当社のお客様に向けて本システムの展開を推進し、現場での利用を通じて、ニーズに合った使いやすいシステムへと改善を続けていきます。また、単なる計測にとどまらず、生産現場の安定稼働と品質向上に貢献する運用支援へと発展させていきます。
