Ace nanochemが、半導体製造プロセスにおける課題を解決する3つの先端材料ソリューションの開発を完了しました。
半導体製造を支援する3つの材料ソリューション
Ace nanochemは、コロイダルシリカナノ粒子の制御技術を核とし、半導体製造の効率化と品質向上を実現する3つの新材料を開発しました。これらのソリューションは、パワーデバイスや高度なパッケージング技術が抱える製造上の課題に対応します。
製品概要：
パワートレンチMOSFET用ポリシリコンスラリー：ゲート酸化膜へのダメージを抑えつつポリシリコンを高効率で除去し、研磨性能を向上させる
シリコンベアウェーハ表面処理溶液：CMP後のウェーハ表面の濡れ性を改善し、粒子付着や汚染を抑制する
ガラス貫通ビア（TGV）プロセス用スラリー：銅バルクやバリアメタル、ガラスなど異なる材質を同時に研磨し、高い平面性と均一性を確保する
台湾・日本市場への展開と技術提携
韓国の大手メーカーへの供給実績を持つAce nanochemは、今回の新材料を足がかりに、世界的に重要な半導体市場である台湾および日本での事業拡大を図ります。同社はSEMICON TAIWANなどへの積極的な参加を通じて、大手ファウンドリとの技術提携を推進する方針です。
李宗勳CEOは、今回の開発について、パワーデバイスから次世代パッケージングまで、要求水準の高い製造プロセスに対応する材料開発への注力姿勢を示すものだと述べています。今後は、培ってきた材料技術と製造能力を基盤として、グローバルな技術協力関係の強化を目指します。
会社概要
Ace nanochemは1999年12月にコロイダルシリカ事業を開始し、20年以上にわたる専門知識を蓄積してきました。年間6万トンの生産能力を持つ専用施設を運営し、SK hynix、SK siltron、SSMC、GlobalWafers、Amkor Technologyといった世界的な企業へ製品を供給しています。また、韓国政府からの輸出貢献に対する表彰や、大手半導体・ウェハメーカーからの最優秀パートナー賞受賞歴を有しています。
まとめ
Ace nanochemは、半導体製造の各工程に対応する3つの新材料を開発し、日本や台湾を含むグローバル市場でのパートナーシップ強化と事業拡大を加速させます。
