グリーンツィード、耐プラズマ性を向上させたFFKMのChemraz® 663を投入
米ペンシルベニア州クルスビル--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- グリーンツィードは、新規の圧縮成形パーフルオロエラストマー(FFKM)となるChemraz® 663の投入を発表しました。Chemraz® 663は、静電チャック（ESC）アセンブリーなど、真空での耐プラズマ性とシール性維持が不可欠な低温エッチング＆デポジションアプリケーションに耐えるように設計したものです。
低温の運用特性（-40°C/-40°Fほど）を備えた高純度（2万ppb未満の微量金属濃度）のChemraz® 663は、ESCアプリケーションや低温真空環境のための理想的な選択肢となります。
グリーンツィードの半導体製品マネジャーであるアンディー・ジョンソンは、次のように述べています。｢Chemraz® 663は半導体市場で最低温の低温性能を備えたFFKMとなるよう設計してあります。優れた低温性能の高性能耐プラズマ材料をお探しなら、Chemraz® 663が理想的な選択肢です。｣
Chemraz® 663の詳細情報については、このページをご覧ください。
グリーンツィードについて
グリーンツィードは高性能の熱可塑性プラスチック、複合材、シール材、加工部品を製造する世界一流企業です。
多様な市場で計150年以上に及ぶ技術専門力と商業知識を兼備するグリーンツィードは、厳しい性能要件を満たして総所有経費を削減する工学的ソリューションの開発でお客さまと協業しています。
当社は、世界的な設計・製造の専門知識を提供して、カスタム設計された最先端コンポーネントの開発を通じて重要な課題を解決しています。
グリーンツィードの製品は世界規模で流通・販売されています。詳細製品については+1.215.256.9521にご連絡いただくか、当社のウェブサイト（http://www.gtweed.com）をご覧ください。
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