ギガフォトン、旧型エキシマレーザーを最新機種にアップグレード

SK hynix社に向けて、入替え用最新機種を出荷

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社:
栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、韓国有数のメモリーチップメーカーSK
hynix社に向けて、旧機種からのアップグレード用として、最新のリソグラフィ装置用エキシマレーザーを出荷したと発表しました。

半導体需要が世界的に高まる中、生産性のさらなる向上はチップメーカーにとって必要不可欠です。しかしながら15年程度経過した旧型レーザーでは運転コストやメンテナンスによるダウンタイム頻度が高く、期待される生産性が得られないため、これらを改善して生産性を上げることが喫緊の課題となっていました。
そのソリューションとしてギガフォトンは、旧機種の、最新エキシマレーザーへのアップグレードに取り組みました。最新機種のエキシマレーザーは最新のモジュール及びソフトウェアを搭載しているため、モジュール寿命や信頼性が旧機種に比べて大きく向上しています。そのため、既存のリソグラフィ装置に結合されている旧機種レーザーと入れ替えることにより、リソグラフィ装置の生産性が向上すると同時に、運転コストやダウンタイムも大幅に削減します。加えてこのアップグレードに伴いCIP（Continuous
Improvement
Program）も提供されるため、将来のサービスサポートに対する不安も解消されます。また今回のケースでは、アップグレードに費やす時間が最短になるよう配慮されており、SK
hynix社工場内での入替えが可能となっています。

ギガフォトン代表取締役社長の浦中克己はこうコメントしています。「当社が提案するレーザーのアップグレードは、既存生産ラインの生産性向上に大いに有効なものです。ギガフォトンは今後もお客様の目線に立ち、お客様と半導体業界に貢献できる提案をしていきます。」

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

Contacts

報道関係者向けの連絡窓口：
ギガフォトン株式会社
経営企画部
寺嶋克知
TEL: [phone]
Eメール:
[e-mail]