ギガフォトン、ネオンガスリサイクルシステム「hTGM」のフィールド評価開始

レーザーのネオンガスを再利用する新機能「hTGM」で産業界に貢献

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社:
栃木県小山市、代表取締役社長:
都丸仁）は、本日同社の主要製品であるKrFエキシマレーザー向けの、ネオンガスリサイクルシステム「hTGM」を開発し、今月中にフィールド評価を開始すると発表しました。

現在、最先端の半導体製造プロセスで使用されているKrFおよびArFエキシマレーザーでは、レーザーガス全体の96%以上を占めるバッファガスにネオンが使用されています。しかしながら2015年より続く世界的なネオンの供給不足により、ネオンガスが入手困難となり価格も5～20倍に急騰しました。(*¹)それを受けギガフォトンでは、2015年7月、顧客の安定した大量生産サポートのため「ネオンガスレスキュープログラム」を開始しました。

このたびギガフォトンは、このプログラムの3つのメニューのうち、2016年に開始すると発表した、ネオンガスリサイクルシステム「hTGM」を開発、今月フィールドでの評価を開始します。hTGMは、半導体工場で稼働するレーザー配管に直接接続し、レーザーで使用したガスを収集後、不純物を取り除き、再びレーザーに注入するというレーザーガスの再利用を可能にしたエコ・システムであり、レーザー装置の稼働には影響を与えることなく、最大の再生率を提供します。また1台につきレーザーを5台まで接続することができる効率的な仕様となっています。現在2月末よりユーザー先でKrF
レーザー向けの評価を開始することが決まっており、順次ArF レーザーにも適用していく予定です。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏は、こう述べています。「hTGMは、当社のグリーンイノベーションロードマップであるEcoPhoton™プログラムに沿って開発されました。半導体の大量生産を支えるレーザーメーカーとして、ギガフォトンは今後もhTGMのような、半導体製造の安定的・継続的な稼働に貢献し、かつ限りある資源を守ることができる技術を開発していきます。」

(*1)当社調査による。

EcoPhoton™プログラムについて
EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムではレーザーの稼働コストを、①消耗部品により発生するコスト、②ダウンタイムにより発生するコスト、③環境負荷のコストの3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

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