■仕様 ・測定範囲 :300 x 200 x 200 mm ・ワーク重量 :最大10kg ・測定方法 :光学2D測定 透過 / 反射照明 ・カメラ :5メガピクセルCCDカメラ ・倍率 :4ステップズーム機能(4.7x、9.5x、19x、38x) ・視野 :65.5x55 mm、32.5x27.5 mm、16x13.5 mm、8x6.5 mm ・測定の不確かさ:EUV、MPE(3.5 + L/50 mm) μm ※測定長さL(mm) ※DIN EN ISO 10360-7準拠 ・本体サイズ :X900 x Y950 x Z950 mm *X,Yはテーブル移動量込み ・本体重量 :140kg