世界初、垂直ブリッジマン法による6インチβ型酸化ガリウム単結晶の作製に成功
(株)ノベルクリスタルテクノロジーは、垂直ブリッジマン(VB) 法による6インチβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶の作製に世界で初めて成功しました。本成果により、β-Ga2O3基板の大口径化・高品質化の実現に向けた大きな前進が期待できます。β-Ga2O3パワーデバイスが広く普及すれば、太陽光発電向けパワーコンディショナー、産業用汎用(はんよう)インバーター、電源などのパワーエレクトロニクス機器の高効率化・小型化、さらには自動車の電動化や空飛ぶクルマなどの電気エネルギーの高効率利用への貢献が期待できます。
概要
近年、シリコン(Si)製のパワーデバイスの性能を超える材料として炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)が注目を集めています。β型酸化ガリウム(β-Ga2O3)はこの2つの材料よりも大きいバンドギャップエネルギーを有するため、より高性能なパワーデバイスが実現される可能性があり、かつSiと同じように「融液成長法」によって高品質の単結晶基板を安価に製造できる新しい半導体の材料です。これらの特徴から、β-Ga2O3パワーデバイスが実用化されれば、家電や電気自動車、更には鉄道車両、産業用機器、太陽光発電、風力発電などのパワーエレクトロニクス機器のさらなる低損失・低コスト化が可能となるため、国内外の企業および研究機関において開発が進められています。また、β-Ga2O3パワーデバイスの低コスト化を実現し、広く社会に普及させるためには、β-Ga2O3基板の大口径化が必須であり、単結晶の大型化が強く望まれます。
株式会社ノベルクリスタルテクノロジーは、これまで主にEFG(Edge-defined Film-fed Growth)法による単結晶製造技術を開発しており、現在研究開発用として2インチおよび100 mm基板の製造・販売を行っています。さらなる基板の大口径化・高品質化を達成するため、JST 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)において、VB法による6 インチβ-Ga2O3基板の開発に取り組んできました。VB法によるβ-Ga2O3単結晶育成技術は信州大学が発案し開発を進め、これまでに2インチおよび4インチの単結晶の作製に成功してきました。(株)ノベルクリスタルテクノロジーは信州大学よりこの育成技術を継承し、継続的に大口径化の開発を行ってきました。その結果、今回VB法6インチ結晶育成装置を立ち上げ、世界初となるVB法による6インチ単結晶の作製に成功しました。また、結晶の評価・解析を担当する産業技術総合研究所においてEFG法およびVB法を用いて作製した単結晶から取得した基板をX線トポグラフィ法により評価し比較しました。その結果、VB法による結晶では、EFG法によるもので見られた高密度の直線状欠陥が、大幅に抑制されていることを見いだし、品質的にもVB法によって作製した結晶が優れていることが実証されました。
※本プレスリリースでは、化学式や単位記号の上付き・下付き文字を、通常の文字と同じ大きさで表記しております。
正式な表記でご覧になりたい方は、産総研WEBページ(https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2023/pr20231225/pr20231225.html)をご覧ください。
プレスリリースの詳細はこちら
https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2023/pr20231225/pr20231225.html
円広志がキダ・タローさんに感謝「長い間、お世話になりました。そして、お疲れ様でした」
レディー・ガガの元婚約者のテイラー・キニーが結婚 22年から交際のアシュリー・クルーガーと
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
カンニング竹山がキダ・タローさん追悼「VTRを注意してくれた最高顧問」
エクソーラ、ゲームとゲーム開発の未来に関する四半期インサイト・レポートをリリース。2024年春季のメトリックと今後のトレンドに対する予備分析
あのちゃんが合わない男性芸人の名前を実名告白、上田晋也も「合うわけない」と大納得
FinalSpark、バイオコンピューティングのためのヒト神経細胞を用いた初の遠隔研究プラットフォームを発表
元たこやきレインボー春名真依「曲を作っていただいたことは人生の宝」キダ・タローさん悼む
キダ・タロー氏死去
大手建設企業が不変データ・コアの構築にBoomiを導入
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
ヒカル、浮気相手とのLINE流出にドン引きの声「キモすぎる」「吐きそう」
時代劇の常識を覆す!仇討ち・無礼討ちの厳格なルール
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
3度逮捕の38歳小向美奈子「今はやってないですよね?」の直撃質問に”回答”
ちとせよしの、美バストあらわな大胆コスチュームで観客を魅了 浜松オートレースヴィーナス就任
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
坂上忍、連ドラ撮影初日”5時間大遅刻”俳優の名明かす「総スカンくらっちゃって」
蟹江敬三さん長男俳優「若い女性を頂きたいおじさん」準強姦容疑で3度目逮捕の映画監督に憤り
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
ヒカル、浮気相手とのLINE流出にドン引きの声「キモすぎる」「吐きそう」
ガーシー、またも綾野剛の暴露写真でネット歓喜「この写真見て笑っちゃう」
完全にダマされた! 『ラヴィット!』あのちゃん“事故レベル”大暴走は『水ダウ』遠隔操作のしわざだった ネットも納得
73歳神田正輝「旅サラダ」生放送で“12歳下俳優”から呼び捨てされ激論
42歳ママタレ20年ぶり水着披露「レベチ」「マジ天使」「最高」55歳夫のピン芸人と2児
ガーシー、佐野ひなこの暴露を示唆でネット騒然「ファンだったのに」
円広志がキダ・タローさんに感謝「長い間、お世話になりました。そして、お疲れ様でした」
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
レディー・ガガの元婚約者のテイラー・キニーが結婚 22年から交際のアシュリー・クルーガーと
カンニング竹山がキダ・タローさん追悼「VTRを注意してくれた最高顧問」
エクソーラ、ゲームとゲーム開発の未来に関する四半期インサイト・レポートをリリース。2024年春季のメトリックと今後のトレンドに対する予備分析
BTC急伸、6.5万ドル台回復、米金利先安観が支援【フィスコ・暗号資産速報】
あのちゃんが合わない男性芸人の名前を実名告白、上田晋也も「合うわけない」と大納得
FinalSpark、バイオコンピューティングのためのヒト神経細胞を用いた初の遠隔研究プラットフォームを発表
キダ・タロー氏死去
元たこやきレインボー春名真依「曲を作っていただいたことは人生の宝」キダ・タローさん悼む