ミネアポリス--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ)-- 高精度の3D検査技術ソリューションを開発・製造するサイバーオプティクス・コーポレーション社(NASDAQ:CYBE)は、カリフォルニア州サンフランシスコにて開催(2019年7月9〜11日)されるセミコン・ウェストに出展します(ブース番号:#5769)。サイバーオプティクス社はその展示会にて、CyberSpectrumソフトウエアを搭載した新しいWaferSense®オート振動レベル測定センサー(AVLS3)を発表します。世界中の半導体工場と装置メーカーは、AVLS3の信頼性、精度、汎用性を評価していると言われています。AVLS3は振動およびレベルの無線測定装置としては、世界で最も効率的かつ効果的な製品です。



厚さわずか3.5mmのAVLS3 であれば、ウエハーが送り込まれる多くのプロセス装置内を容易に搬送させる事ができます。特殊にラミネートされた強化ガラスで出来たハウジングを採用しているので、裏面は鏡面であり、かつ非常に頑丈なので、今までバキュームチャックが困難であったロボットのブレードでも簡単に搬送することが出来ます。

AVLS3は長距離の無線通信機能を備えており、使い勝手の良い新しいCyberSpectrumソフトウエアを併用することで、水準データと振動データを同時に収集して表示できるので、装置を素早く設定・調整し、装置の診断をリアルタイムで行えます。

サイバーオプティクス社のCEO(社長長兼最高経営責任者)であるSubodh Kulkarni博士は、次のように述べています。「ALS3があれば半導体工場の設備技術エンジニアは、装置の検証を迅速に行ない、メンテサイクルを短縮できるほか、装置の保守費用を低減させたり、プロセスの均一性を向上させる事ができます。またAVLS3は、世界中の半導体工場で広く使用されているその他のWaferSenseと同様に、歩留まりとツールの稼働時間を大幅に短縮します。」

さらに、最先端の高密度パッケージ(ウエハやIC)の検査・測定向けに、サイバーオプティクス社は独自の新しいマルチ反射抑制技術(MRS)を応用したセンサーを使ったNano分解能技術のデモを行います。この技術は、光沢のある部品や鏡面状の表面によって生じるマルチ反射をソフト的に識別し抑制して、良否判定するものです。精度の高い測定を行うには、効果的なマルチ反射の抑制技術が非常に重要です。

高精度、高解像度、高スピードという他社には絶対に負けないバランスを実現するMRSセンサーは、表面実装技術(SMT)、半導体、3次元測定の分野で、検査と測定のために幅広く使用されています。解像度3ミクロンという驚異的なNano分解能を実現したMRSセンサーにより、計測グレードの正確性を実現し、25ミクロンほどの小さな構造物を対象とする2D/3D検査において顧客満足度100%の優れた性能を発揮します。

他社が提供するソリューションと比べてMRSセンサーは2〜3倍の高速化を実現しています。Nano分解能MRSセンサーは、データの処理速度が1秒当たり7500万群の3Dポイントを超えていまして、1時間当たりウエハー25枚以上(300mm)という超絶的な処理能力を実現しています。100%の2Dと3Dの検査を同時に高速で行えます。それに対して今まで既存技術を使ったソリューションでは、2Dと3Dのスキャンを別個に行うので、25枚のウエハーのうち数個のダイしかサンプリングすることが出来ないので低速となってしまうのです。

このクラス最高のMRSセンサー技術は、CPUソケット、ICパッケージ、半田のボールやバンプ、銅ピラーの検査、そして高精度とスピードが求められるその他の高密度パッケージや中間工程の半導体アプリケーションに最適です。

詳しい情報については、www.cyberoptics.comをご覧ください。

サイバーオプティクス社について

サイバーオプティクス・コーポレーション社(www.cyberoptics.com)は高精度センサー技術ソリューションの開発・製造で世界をリードしている企業です。サイバーオプティクス社のセンサーは、表面実装技術(SMT)、半導体、計測の市場で、歩留りと生産性を大幅に改善するために採用されています。サイバーオプティクス社は所有する最先端技術を活用して、高精度3Dセンサーの世界的リーダーとしての地位を確立し、重要な高成長市場への進出・拡大を実現していつ企業です。アメリカのミネソタ州ミネアポリスに本社を置き、北米・アジア・欧州の拠点を活用して世界規模で事業を展開しています。

※上記の性能に関する記述は将来見通しに関するものであり、従ってリスクと不確実性を伴います。これらのリスクおよび不確実性には、世界のSMT/半導体資本設備産業における市況、当社製品、とりわけ3D MRS-対応AOIシステムの注文・出荷の時期、当社製品、とりわけSMTシステムの売上高をめぐる価格競争および価格圧力の激化、当社OEM顧客からの発注レベル、顧客からの発注に対処するために必要な部品の可用性、製品開発上の予期しない課題、世界的出来事が当社の売上高(その大部分は海外顧客によるもの)に及ぼす影響、電子機器・半導体市場における技術の急速な変化、競合他社による製品投入とその価格設定、当社の3D技術事業における成功、当社のSQ3000 3D CMMシステム、半導体の中間工程および高度なパッケージの検査用アプリケーション、CyberGage360製品の市場による受容、知的財産侵害に絡んでの第三者との費用と時間がかさむ訴訟、米証券取引委員会に当社が提出した書類で記述された他の要因が含まれますが、これらに限定されません。

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記事名:「セミコン・ウェストにおけるサイバーオプティクス社からの新製品 < ソフトウエアCyberSpectrum™ > < 振動レベルセンサーAVLS3 > < MRSセンサーによるNano分効能技術 >