あらゆる半導体製造装置のデータを統一化し、広範囲な解析と評価が可能、業界に新たな貢献

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己)は半導体露光装置の稼働モニタリングと解析を行う次世代ソリューション「FABSCAPE™」を3月より提供すると発表しました。

多くの半導体メーカーにとって、様々な装置から出力される大量のデータを収集し、解析、活用することは困難な作業であり、かねてより懸案事項でした。ギガフォトンのFABSCAPE™は、メーカーを問わず一律にデータを扱うことを可能にする目的で開発されたオープン・プラットフォームです。FABSCAPE™上にプラグインやドライバーを拡張させることにより、すべての装置のデータを統一化することも可能となり、ユーザーは同一条件でより広範囲に、異なる装置間の重要なパフォーマンス・データの解析と評価ができるようになります。


またFABSCAPE™は、ユーザーが様々な機能のプラグインやドライバーを開発し組み合わせることで、アプリケーションをそれぞれのニーズに合わせて最適化することが可能です。
今後ギガフォトンも、ビジュアライザーツールのほか、リソグラフィ装置組(リソセル)単位で自動的にメンテナンススケジュールを最適化するプラグイン、AIエンジンを活用した自動化用プラグインを提供する予定です。

くわえてギガフォトンは、データ統一化のソリューションをともに開発する半導体メーカーや装置メーカー、その他の機関に対してFABSCAPE™をオンラインで提供する予定です。更に、APIやサンプルコード、チュートリアル、ワークショップなど豊富な開発者向けツールを提供し、FABSCAPE™プラットフォームの普及を促進していきます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏はこうコメントしています。「我々はサプライヤーとして、お客様の問題を解決することを日々重要なミッションとしていますが、同様に個々のお客様が持つ特有の問題を、お客様自身が素早く簡単に解決できるカスタムソリューションを提供することも重要だと考えています。FABSCAPE™は、お客様が業界内外のパートナーとのコラボレーションを通じて装置のデータをより深く理解し、均一に扱うことができる大胆なオープンソフトウェアです。我々は、FABSCAPE™を橋渡しとしたイノベーションで、業界に新たな貢献ができると確信しています。」

*「FABSCAPE™」は2018年2月25日~3月1日にカリフォルニア州San Joseで開催される“SPIE Advanced Lithography”セッション10(3月1日)の中で紹介されます。

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。


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ギガフォトン株式会社
経営企画部
寺嶋 克知
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情報提供元:
記事名:「ギガフォトン、半導体製造装置の解析用次世代オープン・プラットフォーム「FABSCAPE™」を3月より提供開始